NEXIV VMR系列产品有多种不同的主机，按照量程与精度分有VMR-1515、VMR-3020、VMR-6555、VMR-10080、VMR12072、VMR-H3030等几个机种；按照光学头不同又可以分为标准型（下面有三个子型号）、高倍型和LU型几个机种，可以满足大多数客户的需求。全机种采用CAE优化设计，配有高精度导轨和高精度光栅，结构设计合理、精度高，其中VMR-H3030的U2精度达（0.9+3L/1000）μm，式中L为被测长度，其单位是mm。

驱动控制系统采用最新的数字控制技术，辅以高分辨率光栅尺、高速闭环反馈、非线性加减速控制等技术，提高了驱动速度和加速度，缩短了移动时间。逐行扫描式CCD的采用，即能确保精度，又能缩短测量时间。图象处理、各种运算与工作台的移动同步进行，也大幅度地缩短的测量时间，提高了测量效率。