NEXIV VMR的控制箱内装有2个卤素灯光源，光线通过光纤导入主机，为透射光路和反射光路提供照明。此外，VMR具有极其优秀的影象边界检出能力，因工件成象特性而异，有时双层、8方向程控环形斜照明可以发挥很大的作用。

标准机型装备有双层、8方向程控环形斜照明，照射光与光轴的夹角分别为：内层37°左右，外层75°左右，这两层照明都可以从8个方向程序控制其明暗。外层照明的工作距离较短，为了防撞，不用时需要收起来（安全退避功能，见图4）。

Z120X机型的照明，光源为卤素灯，高倍模式下为暗场照明，低倍模式下为环形光纤照明，两者都可以与垂直反射照明同时使用，而且都可以进行独立的调光。