CNC视象坐标测量仪基础
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自动对焦
为了防止自动测量过程中的对焦不准，光学量仪必须配备自动对焦（AF）功能。多数视象坐标测量仪都配有利用图象的对比度处理进行自动对焦的影象自动对焦功能。该功能是通过在高度方向上拍摄相当枚数的光学断面图象，并按目标搜寻特征（对比度）进行插补运算来求得焦面位置的。其中，对边界影象进行对焦的动作称为边界影象对焦，对表面影象进行对焦的动作称为表面影象对焦，您可以选择适当的对焦方式去完成高度方向的目标定位。NEXIV VMR采用逐行扫描CCD，在对焦过程中连续不断地摄取实时图象，并且严格控制各光学断面的图象采集时间，因此可以实现快速、高精度的影象自动对焦。影象自动对焦具有广泛的应用，不过它也有其局限性，比如您想利用对焦功能测量高度方向的尺寸以及表面平整度时，一方面受物镜景深的影响，高度方向的分辨率不可能提得太高；另一方面受被测件表面物性的影响，有时影象自动对焦可能不能稳定地检出。为此，在影象自动对焦的基础上，NEXIV VMR还为您准备了同轴激光自动对焦，它也作为标准配置提供。激光自动对焦系统独立于影象观测光路，因此它不受变焦倍率的影响，与照明状态也无关，可以一直利用物镜的最大数值孔径进行高分辨地检出。
与影象自动对焦相比，激光自动对焦不仅速度高，而且精度也高，此外尼康的同轴激光自动对焦系统还可以进行激光扫描测量（见图6），该功能可用于表面形貌及其截面轮廓的测量。
